개발사례

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형상계측

광투과 진공흡착 테이블을 적용 package 공정의 panel 두께 감소, micro via 크기 축소 trends에 특화된 전수 검사 solution 제공
관리자 2024-02-27 381
측정 대상물의 표면 형상 (휨) 고속 측정
관리자 2023-10-04 380
기판 상면에 형성된 미세 패턴 형상 비 접촉 정밀 측정
관리자 2023-10-04 263
특정 형태의 패턴을 인식하여 패턴 위치를 기준 좌표로 변환
관리자 2023-10-04 234
지정한 패턴 간의 거리 및 크기를 정밀 측정하는 장비
관리자 2023-10-04 233
온도변화에 따른 substrate의 열팽창계수 측정
관리자 2023-10-04 243
계측대상 표면의 표면조도 비 접촉 측정
관리자 2023-10-04 340