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PROJECTS
형상계측
Micro Via 검사기
광투과 진공흡착 테이블을 적용 package 공정의 panel 두께 감소, micro via 크기 축소 trends에 특화된 전수 검사 solution 제공
관리자
2024-02-27
381
휨측정 (warpage measurement)
측정 대상물의 표면 형상 (휨) 고속 측정
관리자
2023-10-04
380
패턴 형상 측정 (pattern profile measurement)
기판 상면에 형성된 미세 패턴 형상 비 접촉 정밀 측정
관리자
2023-10-04
263
좌표측정 (coordinate measurement)
특정 형태의 패턴을 인식하여 패턴 위치를 기준 좌표로 변환
관리자
2023-10-04
234
거리 측정 (distance measurement)
지정한 패턴 간의 거리 및 크기를 정밀 측정하는 장비
관리자
2023-10-04
233
열팽창계수 측정 (CTE measurement)
온도변화에 따른 substrate의 열팽창계수 측정
관리자
2023-10-04
243
비접촉 표면조도 측정 (non-contact surface roughness measurement)
계측대상 표면의 표면조도 비 접촉 측정
관리자
2023-10-04
340
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