고객 정보 보안 관련하여 상세 정보 공개가 불가 하오니 문의사항은 "문의" 메뉴를 통하여 확인해 주시기 바랍니다.
센서 종류
- VSI / Confocal chromatic
계측 대상
- 공정 후 wafer 상면 표면 조도 측정
센서 분해능
- 2nm / 3nm
측정면적
- 870µm x655µm (VSI)