개발사례

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형상계측

패턴 형상 측정 (pattern profile measurement)

작성자 관리자 날짜 2023-10-04 15:35:49 조회수 271
기판 상면에 형성된 미세 패턴 형상 비 접촉 정밀 측정
적 용 사 례

센서종류

   - Confocal chromatic

계측 대상

   - wafer상 생성된 금속 패턴 형상 측정

센서 분해능

   - 10nm

단차 측정 높이

   - < 250µm