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| 항목 | 구분 | 사양 | 비고 |
| 검사대상 Via | 종류 | Through hole, blind hole | |
| 최대 크기 | < 4㎜ | ||
| 최소 크기 | > 20㎛ | ||
| 최대 수량 | < 100,000,000 개 | ||
| 포지션 분해능 | X, Y, Z | 0.05㎛ | |
| Inspection 카메라 | 형식 | 18K, 256TDI Line CCD | |
| 카메라 수 | 1개 | option : dual camera | |
| 보조 카메라 | 형식 | 10M CCD | |
| 카메라 수 | 1개 | ||
| 검사 Panel | 최대 크기 | 450㎜ X 550㎜ | option : 550㎜ X 650㎜ |
| 최소 두께 | > 0.02㎜ | ||
| 최대 두께 | < 2㎜ | ||
| 최대 무게 | < 1.2Kg | 자동 공급장치 option적용 | |
| 자동 Panel 공급 장치 | 적용 가능 | 가능 |