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| 항목 | 구분 | 사양 |
| Mounting Head |
No. of spindle | 1ea |
| Force Control Range | 2~10N | |
| X,Y 분해능 | Repeatability ±3.0um @1σ | |
| Tilt 분해능 | Repeatability ±0.05˚ @3σ | |
| 검사 | Dispensing | Dispensing 후 위치, 토출량 |
| Pickup | Pickup 전 pickup위치 검사 | |
| Mounting | Mounting 중 위치 |